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专利名称 2025101220030一种用于硅抛光片平整度的检测方法及检测装置
合同备案号 X2025980042996 备案日期 2025-12-09 许可人 河南科技大学
许可类型 普通许可 被许可人 洛阳畅连光电科技有限公司
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