2019103405394：基于超晶格异质结构的垂直腔面发射激光器阵列及其制备方法

专利名称	【2019103405394】基于超晶格异质结构的垂直腔面发射激光器阵列及其制备方法
合同备案号	X2025980040602	备案日期	2025-12-02	许可人	北京工业大学
许可类型	开放许可	被许可人	山东凯斯锐智能装备有限公司
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