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专利名称 2012104954607一种光学可测且使用封帽电极的MEMS封装结构
合同备案号 X2025980037136 备案日期 2025-11-21 许可人 中科芯未来微电子科技成都有限公司
许可类型 普通许可 被许可人 四川林仕智控数字科技有限公司
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