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开放许可
专利许可
专利名称
【
2024118601374
】
一种等离子源谐振腔调节方法、装置及谐振腔
合同备案号
X2025980046977
备案日期
2025-12-22
许可人
季华实验室
许可类型
开放许可
被许可人
佛山云筹科技有限公司
浏览人次
8
备 注
【关 闭】
