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专利名称 2019101941734一种减薄碳化硅片的方法、装置及其应用
合同备案号 X2025980051348 备案日期 2026-01-04 许可人 北京大学深圳研究生院
许可类型 普通许可 被许可人 深圳市捷牛精密技术有限公司
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