2021105232912：基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法

专利名称	【2021105232912】基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法
合同备案号	X2025980045206	备案日期	2025-12-23	许可人	山东大学
许可类型	开放许可	被许可人	山东鲁源电器设备有限公司
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