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专利名称 2022113979467一种掩膜组件、蒸镀方法和蒸镀设备
合同备案号 X2025980045583 备案日期 2025-12-17 许可人 季华实验室
许可类型 开放许可 被许可人 佛山云筹科技有限公司
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