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开放许可
专利许可
专利名称
【
2022104177359
】
一种基于过滤弧源的离子注入沉积装置及沉积方法
合同备案号
X2025980038332
备案日期
2025-11-25
许可人
华南理工大学
许可类型
开放许可
被许可人
广东钇芯微半导体技术有限公司
浏览人次
9
备 注
【关 闭】
