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专利名称 2021102385070一种基于DMD的光刻设备数据传输系统及其方法
合同备案号 X2025980040593 备案日期 2025-12-01 许可人 苏州大学
许可类型 普通许可 被许可人 山东福鑫润光电科技有限公司
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