2017109197470：一种MEMS压阻式两轴加速度传感器芯片及其制备方法

专利名称	【2017109197470】一种MEMS压阻式两轴加速度传感器芯片及其制备方法
合同备案号	X2025980044594	备案日期	2025-12-16	许可人	西安交通大学
许可类型	开放许可	被许可人	西安赛尔电子材料科技有限公司
浏览人次	9	备注