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专利许可
专利名称
【
2012103579178
】
MEMS结构缺陷的晶圆级自动检测方法
合同备案号
X2025980037136
备案日期
2025-11-21
许可人
中科芯未来微电子科技成都有限公司
许可类型
普通许可
被许可人
四川林仕智控数字科技有限公司
浏览人次
8
备 注
【关 闭】