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专利名称 2011100991335浅沟槽隔离结构、其制作方法及基于该结构的器件
合同备案号 X2026990000024 备案日期 2026-02-03 许可人 中国科学院微电子研究所
许可类型 普通许可 被许可人 英特尔公司
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