2022112065209：一种用于抛光双面曲面单晶碳化硅的抛光装置及抛光方法

专利名称	【2022112065209】一种用于抛光双面曲面单晶碳化硅的抛光装置及抛光方法
合同备案号	X2025980045460	备案日期	2025-12-17	许可人	季华实验室
许可类型	开放许可	被许可人	佛山云筹科技有限公司
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