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专利名称 2010105017034金属互连结构及金属层间通孔和互连金属线的形成方法
合同备案号 X2026990000024 备案日期 2026-02-03 许可人 中国科学院微电子研究所
许可类型 普通许可 被许可人 英特尔公司
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