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专利名称 2020108963099高深宽比微结构反射式干涉显微无损测量装置
合同备案号 X2026980002039 备案日期 2026-01-29 许可人 南京理工大学
许可类型 普通许可 被许可人 南京智群光电技术有限公司
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