2019103245130：孔型结构工艺质量的检测方法、检测装置、存储介质和处理器

专利名称	【2019103245130】孔型结构工艺质量的检测方法、检测装置、存储介质和处理器
合同备案号	X2026990000024	备案日期	2026-02-03	许可人	中国科学院微电子研究所
许可类型	普通许可	被许可人	英特尔公司
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