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2026-02-03
【2013106274068】半导体装置及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011101738921】一种半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010106228742】晶体管及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011101652390】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012103311304】一种制造场效应晶体管的方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012105059089】平坦化处理方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010101575385】以氮化铝为势垒层的Mo基金属栅叠层结构的刻蚀方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014105732203】一种FINFET结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010101110867】一种半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011102213757】一种互补型金属氧化物半导体场效应晶体管的制备方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014104048936】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2018100961810】一种定位工艺缺陷的方法及装置 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2009102375449】半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013102866697】测量MOS器件侧墙厚度相关参数的结构和方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014105689468】CMOS器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010101294536】一种半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014103607035】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011100031186】层间电介质的近界面平坦化回刻方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014107084313】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012103951052】精细线条制备方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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