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2026-02-03
【2014104049021】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011101448948】鳍式场效应晶体管的制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012102972297】浅沟槽隔离制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014104048936】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2018100961810】一种定位工艺缺陷的方法及装置 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015106292455】CMOS制作方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012105061892】FinFET及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015105614019】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2009102415395】一种用于PMOS器件的金属栅功函数的调节方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012104480136】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011102777571】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010101100297】一种体接触器件结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105400712】一种隔离结构及制造方法、以及具有该结构的半导体器件 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014104500980】CMOS器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010102206867】一种半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2016100689776】EUV设计规则、光源和掩模的联合优化和成像建模方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015103752086】一种金属薄膜溅射的PVD工艺 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013106301807】半导体装置及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014104090295】一种沟道替换工艺的监测方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011103295792】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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