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2026-02-03
【2012102295249】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010102335497】p型半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015102923330】一种半导体器件的制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2016108900958】一种光刻工艺窗口的测量方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105716560】提高金属栅化学机械平坦化工艺均匀性的方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【200910244516X】MOSFET结构及其制作方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2019107502459】一种区域厚膜氮化硅的制备方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012103070083】浅沟槽隔离及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【201510516131X】具有均匀阈值电压分布的半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012102468303】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012104848307】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2016100689776】EUV设计规则、光源和掩模的联合优化和成像建模方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015103752086】一种金属薄膜溅射的PVD工艺 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013106301807】半导体装置及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012101925231】半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011104193419】MOSFET制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010101100297】一种体接触器件结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105400712】一种隔离结构及制造方法、以及具有该结构的半导体器件 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010101565701】一种源漏区、接触孔及其形成方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014106145729】一种非对称FinFET结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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