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2026-02-03
【2020100573403】一种获取套刻误差量测数据的方法及装置 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013100501231】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011101449781】阱区的形成方法和半导体基底 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013102866697】测量MOS器件侧墙厚度相关参数的结构和方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014105689468】CMOS器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012102293099】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010102969628】一种半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011102409315】半导体器件结构及其制作方法、及半导体鳍制作方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105017034】金属互连结构及金属层间通孔和互连金属线的形成方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010100338749】半导体结构及其形成方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【201210150203X】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011101500434】金属栅CMP后的制程监控方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015102543647】SOI器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【201410707178X】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【201010501727X】一种半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012101170335】一种半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011101043621】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2019108372946】一种CMOS晶体管、CMOS晶体管的制备方法及电子设备 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105778529】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2009102375468】一种半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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