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2026-02-03
【2011100921262】互连结构及其形成方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014104841650】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011101712419】一种应变半导体沟道的形成方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105743572】半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011103751085】一种半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2009102354669】一种改善高介电常数栅介质界面特性的方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【201210295970X】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105319852】接触电极制造方法和半导体器件 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015102923330】一种半导体器件的制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2016108900958】一种光刻工艺窗口的测量方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105716560】提高金属栅化学机械平坦化工艺均匀性的方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013100501142】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010101476055】一种半导体器件的制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012102465822】栅极结构的形成方法、半导体器件的形成方法以及半导体器件 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105320506】晶体管及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【201510496522X】制造鳍的方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012104479463】FinFET及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2016100689776】EUV设计规则、光源和掩模的联合优化和成像建模方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015103752086】一种金属薄膜溅射的PVD工艺 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013106301807】半导体装置及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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