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2026-02-03
【2016100689776】EUV设计规则、光源和掩模的联合优化和成像建模方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015103752086】一种金属薄膜溅射的PVD工艺 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013106301807】半导体装置及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2019103245130】孔型结构工艺质量的检测方法、检测装置、存储介质和处理器 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013101733397】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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【2012102832681】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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【2014100237125】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【201210106806X】鳍形场效应晶体管制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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【2010105716645】一种6T CMOS SRAM单元 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013101847735】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012101673777】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105573957】沟槽隔离结构及其形成方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012101352615】半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011100061035】半导体结构及其制作方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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【2010105320629】晶体管及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011100064762】微细结构的光刻方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014104597806】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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【2012101170335】一种半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012101625932】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014103927739】鳍式场效应晶体管及其假栅的制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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