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2026-02-03
【2012101350412】半导体器件制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010102238586】一种半导体器件及其形成方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105743572】半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011101824236】多栅器件的形成方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2014101466899】一种40nm以下尺寸的器件的化学机械平坦化的工艺方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010102847921】晶体管及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013104387714】一种自对准接触孔刻蚀工艺方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2009102441328】具有改善的载流子迁移率的NMOS的制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011103220870】MOSFET及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2009102353399】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011100080021】半导体结构及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011102634582】半导体衬底、具有该半导体衬底的集成电路及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2013100501373】半导体设置及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2016108900958】一种光刻工艺窗口的测量方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010105716560】提高金属栅化学机械平坦化工艺均匀性的方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2011102777571】半导体器件及其制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2019111559318】一种漂移探测器的制备方法及漂移探测器 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2010102151169】层间介质层、具有该介质层的半导体器件及制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2012102465822】栅极结构的形成方法、半导体器件的形成方法以及半导体器件 （许可人：中国科学院微电子研究所）
2026-02-03
【2015106244926】一种鳍及半导体器件的制造方法 （许可人：中国科学院微电子研究所）
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